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真空热处理工艺热处理的发展是伴随着机械制造业的发展而发展，机械制造又对热处理提出了更新更高的要求，模具的热处理又是热处理中技术含量 的部分。众所周知，模具热处理就是为了发挥模具材料的潜力，提高模具的使用性能。模具的性能必须满足：高的强度，(包括高温强度，抗冷热疲劳性能)高的硬度(耐磨性能)和高的韧性，并且还要求有良好的机械加工性、(包括良好的抛光性)可焊接性及抗腐蚀性等等。对模具寿命影响 的是模具的设计(包括了正确的选择材料)模具的材料，模具的热处理，模具的使用和维护等。如果模具的设计合理，材料优质，那么热处理的好坏直接决定了模具的使用寿命。目前国内外都在设法采用更先进的热处理手段来提高模具的性能延长模具的使用寿命。而真空热处理则是模具热处理中较先进的方式之一。所以从模具热处理来看，热处理加工设备的状态、热处理的工艺、生产过程的控制显得尤为重要。而设备的先进性是保证先进工艺实现的前提。真空高压气淬炉是实现真空热处理为理想的设备。真空炉具有不脱碳，不氧化的效果，具有温度均匀，加热和冷却速度可控，可以实现不同的工艺过程，真空炉由于没有污染，是国际上公认的“绿色热处理”。现在国际上已有2-20bar的真空高压气淬炉，可以完全满足模具的真空热处理的要求。
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工作环境好，操作，没有污染和公害。被处理的工件没有氢脆危险，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，真空热处理工艺的稳定性和重复性好。这一系列的优点，开发真空热处理设备和工艺被越来越重视和应用越来越广。一般金属材料在空气炉中加热，由于空气中存在氧气、水蒸气、二氧化碳等氧化性气体，这些气体与金属发生氧化作用易使被加热的金属表面产生氧化膜或氧化皮，完全失去原有的金属光泽。同时这些气体还要与金属中的碳发生反应，使其表面脱碳。如果炉中含有一氧化碳或甲烷气体，还会使金属表面增碳。对于化学性质非常活泼的Ti、Zr以及难溶金属W、Mo、Nb、Ta等，在空气炉中加热，除了要生成氧化物、氢化物、氮化物外，还要吸收这些气体并向金属内部扩散，使金属材料的性能严重恶化。这些氧化、脱碳、增碳、吸气甚至产生腐蚀等弊病，在可控气氛炉或盐浴炉中加热，有时也难以避免。为解决这一问题，通常的做法是在工件热处理前留有加工余量，热处理后在加工去掉氧化、脱碳层等。
