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耐磨复合板的热处理工艺对组织结构影响：随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。
NM400耐磨板在500一650℃进行.得到回火索氏体组织，具有较高的强度和韧性相配合的综合力学性能。生产中把淬火后再进行高温回火的处理称为调质处理。调质处理主要用于各种重要的结构零件，使耐磨板的强度、塑性、韧性达到恰当的配合，具有良好的综合力学性能。特别是在交变载荷下工作的连杆、螺栓、螺母、曲轴和齿轮等零件。调质处理还可作为某些精密零件，如丝杠、量具、模具等的预备热处理，以减少最终处理过程中的变形。调质钢调质处理后的硬度为25一35HRC。
NM400耐磨板回火时的组织转变与正火相比.在相同的硬度下，强度、塑性和韧性均显著高于正火状态。因此，重要构件般均用调质处理。调质还常作为表面强化件的预备热处理
nm400耐磨钢板横向裂纹多在以下情况发生。①较大的工件未淬透时，在工件的淬硬区与非淬硬区之间过渡处有一个 轴向拉应力，从而引起横向裂纹。横向裂纹垂直于轴，而且从内部产生。②在表面淬火时硬化区和非硬化区之间存在着较大的切向或轴向拉力，因而形成过渡区裂纹，这种裂纹由过渡区向表面扩展而呈表面弧形裂纹。③工件有凹槽、棱角、截面突变处时常发生弧形裂纹。④淬火工件有软点时，软点周围也存在一个过渡区，该处存在着很大的拉应力，从而引起弧形裂纹。⑤有带槽、中心孔或销孔的零件淬火时，这些部位冷却较慢，相应的淬硬层较薄，故在过渡区由于拉应力作用易形成弧形裂纹。(3)网状裂纹这种裂纹是一种表面裂纹，其深度较浅，一般在0. 01～1. 5mm左右。裂纹走向具有任意方向性，与工件的外形无关，许多裂纹相互连接构成网状，裂纹分布面积较大。当裂纹变深时，网状逐渐消失;当达到1mm以上时，就变成任意走向的纵向分布的少数条纹了。网状裂纹多在以下情况发生。①表面脱碳的高碳钢工件淬火后极易形成网状裂纹。这是因为表面脱碳层淬火后，内层马氏体含碳量比表层高，这样表层形成的马氏体与内部的马氏体体积差大，使表面造成很大的多向拉应力。在某些合金钢中，脱碳油淬后便可能形成这种网状裂纹。②一些在机械加工中未完全除去脱碳层的工件，在高频淬火或火焰淬火时也会形成网状裂纹。③在实际生产中发现，40CrMnMo钢锻铁毛坯，因加工余量较小，粗加工后仍留有黑皮，淬火后在原黑皮处(即脱碳层)常发现网状裂纹。但是，并非脱碳层一定会产生网状裂纹。当表层完全脱碳时，淬火后表层为铁素体，因铁素体塑性好，易变形，可使应力松弛，则不易形成网状裂纹。(4)剥离裂纹剥离裂纹的特征是淬火后裂纹发生在工件次表层很薄的区域，裂纹与工件表面平行。这种裂纹多发生在表面淬火，或表层渗碳、碳氮共渗、渗氮和渗硼等化学热处理的工件中。裂纹位置多在硬化层和心部交界处，即多产生在过渡区中。例如，合金渗碳钢工件，以一定速度淬火冷却后，渗碳层组织为马氏体、碳化物以及残余奥氏体，过渡区为贝氏体+马氏体，或者托氏体。心部为铁素体+珠光体。
