真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。真空热处理技术的优点真空热处理技术具有一系列突出的优点：真空热处理具有防氧化的作用。表面不氧化、不脱碳、并有还原除锈作用，省却刀具的粗加工工序，可节约昂贵的刀具钢材和原辅材料的消耗，节省加工时间，降低产品成本；真空热处理具有真空脱气、脱脂作用并无氢脆危险，防止刀具材料难熔金属的表面脆化，使刀具材料表面纯度提高，提高刀具的疲劳强度、塑性和韧性及耐腐蚀性，提高刀具的使用寿命；真空热处理具有淬火变形小，可减少常规淬火变形的校正应力存在，降低刀片使用过程中断裂的可能性，真空热处理刀片的变形为盐浴淬火的1/2-1/10,淬火后一般不需要校正就可精磨加工至成品；真空热处理工艺的服装设计学校稳定性和重复性好。一旦工艺确定，只要输入工艺程序，热处理操作将自动运行。避免常规热处理工艺不稳定造成的刀具质量波动；真空热处理耗电少，电能消耗为常规的80%,生产成本低，但一次性投资成本大；真空热处理操作、自动化程度高，工作环境好，无污染无公害，符合我国工业企业清洁生产和持续发展的要求。
如何有效避免热处理变形精密复杂模具的变形原因往往是复杂的，但是我们只要掌握其变形规律，分析其产生的原因，采用不同的方法进行模具的变形是能够减少的，也是能够控制的。一般来说，对精密复杂模具的热处理变形可采取以下方法。 (1)合理选材。对精密复杂模应选择材质好的变形模具钢(如空淬钢)，对碳化物偏析严重的模具钢应进行合理锻造并进行调质热处理，对较大和无法锻造模具钢可进行固溶双细化热处理。 (2)模具结构设计要合理，厚薄不要太悬殊，形状要对称，对于变形较大模具要掌握变形规律，预留加工余量，对于大型、精密复杂模具可采用组合结构。 (3)精密复杂模具要进行预先热处理，机械加工过程中产生的残余应力。 4)合理选择加热温度，控制加热速度，对于精密复杂模具可采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。(5)在保证模具硬度的前提下，尽量采用预冷、分级冷却淬火或温淬火工艺。
（4）回火阶段。通过200~240℃的低温回火，使淬火马氏体转变为回火马氏体，同时使表面残留奥氏体分解为马氏体。为了使残留奥氏体转变充分，并有利于热处理应力，采用两次回火。
经过多年的实践证明，上述渗碳复合热处理新工艺节能减耗效果明显，可将原渗碳热处理的工艺周期缩短约20，降低能耗至少10，还减少了渗碳剂的消耗，有效降低热处理生产成本；而且工艺重复性较好，质量稳定性较高。
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