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常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生危险。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。 特点：① 不需要高成本的化学药剂，运行稳定，耐腐蚀，耐负荷冲击能力大。② 针对特定有害气体成份驯化适当的微生物，提高单位容积的负荷率。③ 填料采用有机无机混合填料，比表面积大，孔隙率高，并可为微生物提供营养，可支撑大量不同种群微生物群。④ 填料活性介质的损失小、可减少能耗，降低运行费用。采用强化自然生物降解污染物，无二次污染物产生。VOC去除率高，对H2S的去除率可达99%。 PLC控制系统自动运行，无需人员管理设备。
光氧废气处理设备气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。 光氧废气处理设备 特点：① 采用单级或多级串联洗涤，对污染物去除彻底，去除效率高。② 处理高浓度恶臭废气具有明显优势，运行稳定。③ 具有启动速度快、可间歇运行、耐冲击负荷强、受温度影响小、运行稳定等特点。④ 自动化程度高，占地面积小,化学洗涤除臭设备适用于污水处理厂、制药厂、化工厂等具有碱性或酸性且浓度比较高的尾气治理。活性炭除臭设备采取切线出风、环状过滤、中间进风、上不加料、下部卸料的结构，克服了传统的活性炭过滤器过滤阻力大、面积小、占地面积大、设备投资高、更换活性炭困难等缺陷，使活性炭过滤设备结构设计近乎于完美。
挥发性有机废气经系统风机推进或者吸入RTO进口集风管，切换阀引导气体进入蓄热床，气体在经由陶瓷蓄热床到燃烧室的过程中被逐渐预热，在燃烧室高温(约800℃)氧化分解，净化后的高温尾气在通过另一陶瓷蓄热床时会将热量留在其中，使得出口处的蓄热床得到加热，净化尾气得到降温，使得出口温度略高于RTO进口温度，通常情况下温升高不超过50-70℃。 切换阀改变气流进入蓄热床的方向，实现蓄热区与放热区的交替转换，实现大化回收焚化炉内的热量，高热能回收率降低了燃料的需求节省了运行本钱。当系统VOC浓度大于矜持浓度(甲苯1200mg/m3、二甲苯1100mg/m3)时，RTO即不需辅助燃料便能够维持VOC氧化分解前提，同时可对外输出系统余热。 催化热力燃烧工艺是涂装行业这类废气成分稳定复杂、废气浓度高、粉尘含量高的工况首先治理技术，其净化效果非常理想，净化效果比较彻底，无或很少二次污染物产生，若是能做到处理过程中热量回收利用，那便可以省一笔不菲运营成本。活性炭吸附脱附只针对于那些低浓度小风量工况项目，这样从企业角度来讲降低企业上环保设备的*成本，在运营后期相对于催化热力燃烧来讲，也比较划算，是除了催化热力燃烧之外，涂装喷漆废气处理工艺的好选择。
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