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光氧催化利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。
光氧催化利用氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有较强的氧化作用。工业废气输入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束和臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
光氧催化利用细菌的分子键，破坏细菌的核酸，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化杀灭细菌的目的。采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行，使有机物转变为无机物。
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UV光催化设备是目前工业废气处理技术中进的技术之一，UV光催化设备的开发充分考虑了工业废气性质的不确定性和复杂性，从工程的设计、配套、安装、调试、维护等方面提供了很大的可行性、可靠性、灵活性、有效性
一、UV光催化设备工作原理：
1、利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射来裂解排放的废气废气，能有效的处理：硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，等废气的分子链结构，使有机或无机高分子废气化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等，从而达到有效的治理，实现达标排放。
光化学及光催化氧化法是目前研究较多的一项高级氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。
光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CCl4、****等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生**自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。
